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碳化硅衬底和碳化硅晶片的区别

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碳化硅衬底和碳化硅晶片的区别

所用的材质不同。

碳化硅是第三代半导体材料,作为宽禁带半导体材料的一种,与硅的主要差别在禁带宽度上,这让同性能的碳化硅器件尺寸缩小到硅基的十分之一,能量损失减少了四分之三,成为制备高压及高频器件新的衬底材料。

碳化硅器件具备广阔的应用领域和市场空间,未来几年市场规模年化复合增速约 30%,乐观预计复合增速达35%,未来1~2恰处于爆兵期。

这里先引入一个区分,碳化硅衬底分为导电型与半绝缘型。通过在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅外延层,制得碳化硅同质外延片,可进一步制成肖特基二极管、MOSFET、IGBT 等功率器件,主要应用领域包括电动汽车、光伏、轨道交通、智能电网等。通过在半绝缘型碳化硅衬底上生长氮化镓外延层,制得碳化硅基氮化镓外延片,可进一步制成微波射频器件,主要应用在通讯等领域。

碳化硅衬底和碳化硅晶片的区别

性质碳化硅的硬度很大,具有优良的导热和导电性能,高温时能抗氧化。用途(1)作为磨料,可用来做磨具,如砂轮、油石、磨头、砂瓦类等。(2)作为冶金。

目前我国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种,均为六方晶体。。长期以来由于衬底单晶没有解决,异质外延缺陷密度相当高,因为氮化镓极性太。

以碳化硅为衬底的外延晶片的外延层表面也对其衬底的。克服了现有技术中的不足,目前的碳化硅晶片均为单面。